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单项选择题
下列哪些元素在硅中是快扩散元素:()。
A.Na
B.B
C.P
D.As -
单项选择题
He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10-13cm2/s,这些元素称为()。
A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质 -
单项选择题
如果磷在二氧化硅中扩散,对扩散率影响最大的因素是:()。
A.扩散剂总量
B.压强
C.温度
D.浓度
