问答题
论述题
浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。
【参考答案】
根据瑞利判据：要提高分辨率，可以通过增大数值孔径NA来实现。传统曝光设备在镜头与硅片之间的介质是空气，空气的折射率是1；......
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