问答题
论述题
什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？
【参考答案】
表面反射——穿过光刻胶的光会从晶圆片表面反射出来，从而改变投入光刻胶的光学能量。当晶圆片表面有高......
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