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单项选择题
PECVD主要利用的是（）区域。
A.正离子柱区
B.法拉第暗区
C.阳极辉光
D.阴极辉光 -
单项选择题
PECVD所使用的主要原料是（）。
A.SiHCl3
B.SiO2
C.Si
D.SiH4 -
单项选择题
α-Si指（）。
A.微晶硅
B.多晶硅
C.单晶硅
D.非晶硅
