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单项选择题
PECVD所使用的主要原料是()。
A.SiHCl3
B.SiO2
C.Si
D.SiH4 -
单项选择题
α-Si指()。
A.微晶硅
B.多晶硅
C.单晶硅
D.非晶硅 -
单项选择题
与光致衰减效应联系最紧密的元素是()。
A.O
B.C
C.B
D.H