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单项选择题
提出用于半导体蚀刻加工的LIGA法的科学家是来自于（）
A.美国
B.日本
C.德国
D.法国 -
单项选择题
以下几种加工方法中不属于高能束流加工方式的是（）
A.激光束加工
B.等离子加工
C.电化学加工
D.电子束加工 -
单项选择题
用于超精密研磨与抛光的MRF技术提出的时间约在（）
A.20世纪90年代
B.20世纪80年代
C.19世纪90年代
D.19世纪80年代
