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单项选择题
纳米级微结构的制作中，不仅取决于激光的波长，还取决于激光的（）
A.脉冲宽度
B.频率
C.振幅
D.光强 -
单项选择题
提出用于半导体蚀刻加工的LIGA法的科学家是来自于（）
A.美国
B.日本
C.德国
D.法国 -
单项选择题
以下几种加工方法中不属于高能束流加工方式的是（）
A.激光束加工
B.等离子加工
C.电化学加工
D.电子束加工
