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直拉单晶硅工艺学
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填空题
炉体由炉底座、炉膛、炉顶盖、副室、（）、（）、光学图像等直径监测器等部件组成。
【参考答案】
坩埚轴（下轴）；籽晶轴（上轴）
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填空题
直拉单晶炉型式尽管不同，总的说来，主要由炉体、电气控制部分、（）、（）、（）五大部分组成。
填空题
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为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，确保器件参数的一致性，单晶的（）势在必行。
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