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单项选择题
CVD法成膜使用气体原料，通过分解还原、（）、置换等化学反应使薄膜凝结在基板表面的成膜方法。
A.氧化
B.蒸发
C.电离
D.挥发 -
单项选择题
小型空冷干泵是指哪种型号的泵？（）
A.CR
B.GR
C.LR
D.HR -
单项选择题
下列是ULVAC设备制造中常用成膜方式的是（）。
A.PVD和CVD
B.PVD和电镀
C.CVD和电镀
D.电镀和阳极氧化
