单项选择题
热扩散炉通过什么去除不纯气体？（）
A.在管内通过排气去除不纯气体
B.在管内通过特气置换去除不纯气体
C.在管内通过排气/特气置换去除不纯气体
D.其余都不正确
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单项选择题
机械增压泵加装变频器后的最大目的是什么？（）
A.从大气压启动、提高排气速度
B.提高极限压力
C.显著改善噪音
D.降低能耗 -
单项选择题
下面关于皮拉尼真空计的描述中，哪一个是错误的？（）
A.大气压到低真空领域，由于气体分子数足够多，热量变化相对于压力变化比例与中真空、高真空区域相比是最大的。
B.在高真空到超高真空区域，由于气体分子数很少，所以对于气体分子的热移动量，其它的热移动量不容忽视。
C.根据发热体表面状态的不同，如脏污等，热辐射率、发热体和气体分子的热能授受比例也会发生变化，指示值变动的可能性很大。
D.由于输出灵敏度取决于气体分子的种类。所以同等压力（1×103Pa）左右情况下的氩气和氦气相比较，氦气显示出更高的压力值。 -
单项选择题
RF电源设备设计难度是（）。
A.难以大型化
B.易于大型化
C.容易
D.复杂
