单项选择题
硅晶片上之所以可以产生薄膜,出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子,它们主要是通过()到达晶片表面的。
A.粒子的扩散
B.化学反应
C.从气体源通过强迫性的对流传送
D.被表面吸附
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单项选择题
决定吸附原子彼此间能否形成一个稳定的核团,以便于进行凝结的主要因素主宰于所形成的核团是否()而定。
A.动能最低
B.稳定
C.运动
D.静止 -
单项选择题
()是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。
A.晶核
B.晶粒
C.核心
D.核团 -
单项选择题
()主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。
A.PVD
B.CVD
C.溅射
D.蒸发
