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问答题

论述题

什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?

    【参考答案】

    横向效应:注入的离子在垂直于入射方向平面内的分布情况。横向效应与注入离子的种类和离子能量有关。B的横向效应更大,因为质量......

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