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问答题

论述题

下图为一个典型的离子注入系统。(1)给出1~6数字标识部分的名称,简述其作用。(2)阐述部件2的工作原理。

    【参考答案】

    1.离子源2.分析磁块3.加速器4.中性束闸5.x&y扫描板6.法拉第杯
    1.离子源作用:产生注入用的离子原理......

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