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单项选择题
离子束的引出系统的间接引出系统中,阳极和插入电极之间形成一个离子密度较()的等离子体。
A.低
B.高
C.均匀
D.不均匀 -
单项选择题
引出系统要求能引出分散性较好的强束流,还希望具有较()的气阻。
A.无序
B.稳定
C.小
D.大 -
单项选择题
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。
A.正
B.负
C.中性
D.以上答案都可以
