相关考题
-
单项选择题
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
A.正
B.负
C.中性
D.以上答案都可以 -
单项选择题
在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。
A.电子振荡放电
B.离子自动放电
C.低电压弧光放电
D.双等离子电弧放电 -
多项选择题
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢
B.二硼化氢
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷
