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单项选择题
晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。
A.极大值
B.极小值
C.既不极大也不极小
D.小于动能 -
单项选择题
离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。
A.等离子体
B.不等离子体
C.正离子体
D.液电流 -
多项选择题
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
A.砷化氢
B.二硼化氢
C.三氟化硼
D.硅烷
E.氧气
