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单项选择题
危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。
A.2族金属
B.碱金属
C.合金金属
D.稀有金属 -
单项选择题
悬浮在空气中的颗粒称为（）。
A.悬浮物
B.尘埃
C.污染颗粒
D.浮质 -
单项选择题
沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。
A.不会影响成品率
B.晶圆缺陷
C.成品率损失
D.晶圆损失
