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单项选择题
（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。
A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2 -
单项选择题
离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。
A.分析器
B.扫描器
C.加速器
D.偏转器 -
单项选择题
Torr是指（）的单位。
A.真空度
B.磁场强度
C.体积
D.温度
