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单项选择题
早期,研究离子注入技术是用()来进行的。
A.重离子加速器
B.热扩散炉
C.质子分析仪
D.轻离子分析器 -
单项选择题
()的气体源中一般包含H+,C+,B+,Cl+,O+等离子。
A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2 -
单项选择题
离子源产生的离子在()的加速电场作用下得到加速。
A.分析器
B.扫描器
C.加速器
D.偏转器
