问答题
简答题
刻蚀工艺的目的是什么，这个区中最常用的设备是什么？
【参考答案】
目的：硅片上没有光刻胶保护的地方留下永久的图形。
常用设备：等离子刻蚀机，等离子体去胶机和湿法清洗设备。
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