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单项选择题
LPCVD是属于哪种CVD？（）
A.高温高压
B.高温低压
C.低温高压
D.低温低压 -
单项选择题
离子溅射泵有几块Ti阴极板？（）
A.1块
B.2块
C.3块
D.4块 -
单项选择题
适用于一般工业用，带有通用感应电机是哪种泵？（）
A.CR
B.GR
C.LR
D.HR
