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单项选择题
磁控溅射中()被磁气回路的磁力线捕获。
A.电子
B.原子
C.粒子
D.分子 -
单项选择题
LPCVD是属于哪种CVD?()
A.高温高压
B.高温低压
C.低温高压
D.低温低压 -
单项选择题
离子溅射泵有几块Ti阴极板?()
A.1块
B.2块
C.3块
D.4块