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单项选择题
真空镀膜室内,在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板,用来()。
A.隔挡气体交换
B.控制蒸发的过程
C.辅助热量交换
D.温度调节 -
单项选择题
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成()。
A.衬底加热器
B.抽气系统
C.真空室
D.蒸气源加热器 -
单项选择题
()由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
A.真空镀膜机
B.真空镀膜室
C.真空镀膜器
D.真空镀膜仪
