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多项选择题
真空镀膜室是由（）几部分组成。
A.钟罩
B.蒸气源加热器
C.衬底加热器
D.活动挡板
E.底盘 -
单项选择题
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
A.隔挡气体交换
B.控制蒸发的过程
C.辅助热量交换
D.温度调节 -
单项选择题
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
A.衬底加热器
B.抽气系统
C.真空室
D.蒸气源加热器
