多项选择题
超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有很高的（）。
A.稳定性 B.耐磨性 C.抗振性 D.可靠性 E.气密性
多项选择题 微位移系统应用于（）。
多项选择题 实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（）。
多项选择题 超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（）等。
