多项选择题
实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（）。
A.极高的硬度和耐磨性 B.刃口及其锋利 C.刀刃无缺陷 D.与工件材料的抗粘接性好 E.摩擦系数低
多项选择题 超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（）等。
多项选择题 超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。
多项选择题 洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。
