多项选择题
干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。
A.生长的二氧化硅薄膜均匀性好 B.生长的二氧化硅干燥 C.生长的二氧化硅结构致密 D.生长的二氧化硅是很理想的钝化膜 E.生长的二氧化硅掩蔽能力强
单项选择题 干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。
单项选择题 干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。
单项选择题 下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。
