多项选择题
有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。
A.负胶受显影液的影响比较小 B.正胶受显影液的影响比较小 C.正胶的曝光区将会膨胀变形 D.使用负胶可以得到更高的分辨率 E.负胶的曝光区将会膨胀变形
单项选择题 下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。
多项选择题 下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。
单项选择题 下列关于曝光后烘烤的说法正确的是（）。
