多项选择题
对多晶硅薄膜的研究重点目前主要有（）。
A.制备电池的工艺和方法，以便选用低价优质的衬底材料B.如何在廉价的衬底上，能够高速、高质量地生长多晶硅薄膜C.掺杂气体的选择D.热处理温度的选择
多项选择题 常用的多晶硅薄膜的制备方法有（）。
单项选择题 PECVD主要利用的是（）区域。
单项选择题 PECVD所使用的主要原料是（）。
