多项选择题
二氧化硅膜的质量要求有（）。
A.薄膜表面无斑点 B.薄膜中的带电离子含量符合要求 C.薄膜表面无针孔 D.薄膜的厚度达到规定指标 E.薄膜厚度均匀，结构致密
多项选择题 解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。
多项选择题 二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。
单项选择题 钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。
