多项选择题
二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。
A.玻璃器皿 B.高温器材 C.人体沾污 D.化学试剂 E.去离子水
单项选择题 钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。
单项选择题 硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。
单项选择题 二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。
