多项选择题
非晶硅晶化制备多晶硅薄膜的途径有（）。
A.快速热处理晶化B.激光热处理晶化C.金属诱导固相晶化D.固相晶化
多项选择题 二氧化钛的晶体结构有（）。
多项选择题 对多晶硅薄膜的研究重点目前主要有（）。
多项选择题 常用的多晶硅薄膜的制备方法有（）。
