单项选择题 二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。

单项选择题 表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度，习惯上常用（）。

多项选择题 （）的方法有利于减少热预算。