单项选择题 在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。

单项选择题 通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

单项选择题 下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。