单项选择题
在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。
A.耐热陶瓷器皿 B.金属器皿 C.石英舟 D.玻璃器皿
单项选择题 通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。
单项选择题 下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。
单项选择题 He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。
