多项选择题 超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有很高的（）。

多项选择题 微位移系统应用于（）。

多项选择题 实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（）。