单项选择题
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
A.正 B.负 C.中性 D.以上答案都可以
单项选择题 在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。
多项选择题 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
单项选择题 离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
