单项选择题 在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。

单项选择题 降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

单项选择题 晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。