单项选择题 晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

单项选择题 离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

多项选择题 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。