单项选择题
晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。
A.极大值 B.极小值 C.既不极大也不极小 D.小于动能
单项选择题 离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。
多项选择题 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
多项选择题 半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
