单项选择题 在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。

单项选择题 涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。

多项选择题 涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。