问答题
简述RTP在集成电路制造中的常见应用。
1）杂质的快速热激活RTP工艺最具吸引力的的热点之一是晶圆片不用达到热平衡状态，意味着电活性的有效掺杂实际上可以超过固溶......
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问答题 简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？
问答题 简述硼和磷的退火特性。
问答题 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？
