问答题
简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？
RTP工艺是一类单片热处理工艺，其目的是通过缩短热处理时间和温度或只缩短热处理时间来获得最小的工艺热预算（Thermal......
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问答题 简述硼和磷的退火特性。
问答题 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？
问答题 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
