问答题
简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。
在光栅扫描方法中，每一个像素必须被逐次扫描。这样，曝光时间几乎与图形无关，图形就是通过打开和关闭快门写出来的。而已经开发......
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问答题 浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。
问答题 什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？
问答题 典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。
