问答题
画出侧墙转移工艺和self-aligned double patterning（SADP）的工艺流程图。
问答题 简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。
问答题 浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。
问答题 什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？
