多项选择题
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A.除去光刻胶中剩余的溶剂 B.增强光刻胶对晶片表面的附着力 C.提高光刻胶的抗刻蚀能力 D.有利于以后的去胶工序 E.减少光刻胶的缺陷
多项选择题 有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。
单项选择题 下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。
多项选择题 下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。
