问答题 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？

问答题 什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？

问答题 热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。