问答题
热蒸发制备薄膜的过程有哪些？
准备→抽真空→预蒸→蒸发→取片
问答题 气体直流辉光放电分为哪几个区？其中辉光放电区包括哪几个区？溅射区域选择在哪个区？
问答题 APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
问答题 离子注入后为什么要退火？
