多项选择题
下列有关曝光系统的说法正确的是（）。
A.投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高 B.接触式的分辨率优于接近式 C.接近式的分辨率受到衍射的影响 D.投影式曝光系统中不会产生衍射现象 E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
多项选择题 按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。
单项选择题 在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。
单项选择题 涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。
