单项选择题 离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。

单项选择题 引出系统要求能引出分散性较好的强束流，还希望具有较（）的气阻。

单项选择题 离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。